1、臭氧消毒柜属于低温消毒，是利用臭氧的强氧化性杀灭细菌，臭氧在空气中弥漫快且匀速，可以全方位的消毒，臭氧为气体氧化剂，其杀菌过程为强氧化作用，使微生物的细胞中多种成分产生反应，从而产生不可逆转的变化而死亡。
2、臭氧灭活病毒是通过直接破坏其核糖核酸，或脱氧核糖核酸物质完成，而杀灭细菌、霉菌类微生物，则是臭氧首先作用于细胞膜，使膜结构成分受损，导致新陈代谢障碍并抑制其生长，臭氧继续渗透破坏膜内结构组织，直至杀死。
3、如果臭氧浓度过高对身体也会有一定的影响，但一般来说臭氧消毒柜内的臭氧含量比较低，不会损坏人体器官，在使用的时候只要注意开窗通风、定期检修，在机器故障的时候要及时维修，就不会有较大的臭氧气味散发出来损伤身体。